佛山市锦城镀膜-新能源汽车灯杯注塑镀膜生产厂家

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    2020-9-19

蔡向荣
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真空镀膜之磁控溅射镀膜 :

电子的运动路径不仅很长,而且被电磁场束缚在靠近靶表面的等离子体区域内,在该区中电离出大量的离子用来轰击靶材,从而实现了磁控溅射沉积速率高的特点。随着碰撞次数的增加,新能源汽车灯杯注塑镀膜哪里有,电子的能量逐渐降低,同时逐步远离靶面。低能电子沿着磁力线来回振荡,待电子能量将耗尽时,在电场的作用下终沉积在基片上。由于该电子的能量很低,新能源汽车灯杯注塑镀膜,传给基片的能量很小,致使基片温升较低。由于磁极轴线处电场与磁场平行,电子将直接飞向基片。但是在磁控溅射装置中,新能源汽车灯杯注塑镀膜, 磁极轴线处离子密度很低, 所以这类电子很小,对基片温升作用不大。














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物理l气相沉积(真空镀膜)基本方法 :

从膜层特点看,真空蒸镀低温时密度小但表面光滑、气孔低温时多、附着性不太好、内应力为拉应力绕射性差;溅射密度大、气孔少但混入溅射气体较多、附着性较好、内应力为压应力、绕射性差;离子镀密度大 ,无气孔但膜层缺陷较多,附着性---,内应力视工艺 条件而定,绕射性较好。




镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响:

弧靶电流:弧靶电流越大,靶材蒸发量越大,靶面温度越高,冷却越差,弧靶产生的液滴大颗粒越多,膜层外观越差,膜层中的缺陷越多。

本底漏率:本底漏率是指真空室在未加入气体单位之前本身的单位漏率,漏率越大,进入炉内的杂气就越多,不管真空度多高,这会---影响镀膜过程中炉内气氛的纯度和工件表面的洁净度,会破坏膜层的结合力和膜层颜色的纯度。




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