为了提高涂层厚度的均匀性,采用行星机构或行星运动形式等旋转运动设备的真空室具有---的涂膜均匀性、---的涂层台阶覆盖性能、较大的承载能力,并能充分利用有用空间。这是一种常见的运动形式。排气系统通常由机械泵、分散泵、管路和阀门组成。 为了提高泵的流量,真空镀膜反光杯,可以在机械泵和分散泵之间增加增压器。 因此,排气系统不仅要在短时间内以低压---快速的工作循环,而且还需要快速清除气体的蒸发源和蒸发工件的表面。蒸发系统包括电气设备和加热蒸发源。






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